关键词：真空泵检漏，真空泵检漏设备，氢气检漏仪

   真空泵是我国真空工艺过程中不可缺少的泵种类之一，随着经济快速可持续发展，真空泵的应用范围越来越广泛。真空泵在出厂之前，生产厂家都会对其进行检漏工作，如何进行高效真空泵检漏是目前存在的问题之一。

   真空泵是一种利用化学或者物理的方法对容器进行抽气从而达到真空状态的设备。换而言之，真空泵是利用某种方法使密闭空间达到真空的状态。

   真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，使室内的气体压力降低，达到真空的状态。由于真空的范围很广泛，至今还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求，真空系统的配置也各不相同。

   若真空泵发生泄漏，无论是哪种配置的仪器都无法正常使用。为了确保真空泵拥有良好的气密性，生产厂家需要一种高效的真空泵检漏方法。常用的方法是将真空抽至10^-3Pa级，然后在可疑的位置喷洒少量的酒精，通过真空计数值的变化判断有无泄漏，此种方法检漏精度低，而且无法精准检漏。而超钜研发的ATH-3000P氢气检漏仪检漏精度高，检测限低至5*10-7 MBAR L/S，可以精准定位，不放过任何微小漏孔。由于氢气检漏仪的优势众多，已深受众多真空泵生产厂家的喜爱。

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