关键词：腔体微漏，腔体检漏仪，真空腔体检漏

  真空腔体虽然不常见，但是应用范围广泛，适用于工业、医药、实验室、化工、电子等众多领域，并占有重要地位。如果腔体泄漏，并且无法确定泄漏位置，尤其遇上腔体微漏更是难上加上，对于这个问题该如何解决呢？

  常见的真空腔体检漏方法有氦质谱检漏和真空封泥检测法。

  氦质谱检漏。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器.，操作简单，仪器反应灵敏，精度高，不容易受到其他气体干扰，在真空检漏中得到了很多应用。但是氦气成本高，长期使用，很多中小型企业无力承担。

  真空封泥检测法。用真空泥封住可疑的漏点，观察真空度的变化，如果贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又有了明显的下降，则说明此处泄漏，但是对于泄漏的具体位置无法精准判断，因此，使用较少。

  超钜科技为解决腔体微漏这一现象，自主研发生产出一款ATH-3000“超钜微检”腔体检漏仪，检测精度、响应速度等同氦质谱检漏仪，气体成本仅是氦气的1/15~1/20，适用于大、中、小型企业生产厂家使用，不仅提高产品品相，而且降低使用成本。

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