关键词：真空炉检漏仪，真空检漏技术，真空系统检漏

  目前国内许多生产电工材料的单位都拥有真空炉，这些各式各样的真空炉都是各单位的关键设备，承担着生产优质电工材料的重任，因此，做好真空炉检漏工作对保证产品质量和设备正常运行有着重大的意义。

  真空炉与非真空炉的区别在于真空炉多了一套真空系统，真空系统是由真空泵、真空室、管道、阀门、真空计等部件所组成，真空泵通过管道、阀门等和真空室连接起来，其作用是把系统内部的气体排出到系统之外，从而形成真空。

  真空系统要达到十分严密，一点也不漏气，几乎是不可能的，只要漏气速率降低到允许范围之内即可，这样可以保证工作所需的真空度。判断真空系统是否漏气，常见的检漏方法是气泡法和氦质谱检漏法。

  气泡检漏法是在被检工件内充入一定压力的示漏气体，然后放入水中，如有漏孔存在，气体会通过漏孔进入周围的水中形成气泡，从而确定漏孔位置，气泡形成的速率、大小和水的性质相结合估算漏率。但是这种方法耗时长，需要经验丰富者才可操作，而且检漏完成后需烘干，工序繁琐，对于细微漏孔无法判断。

  氦质谱检漏法。可快速、精准判断出被检工件的漏孔大小以及泄漏值。但是氦气不易制取，价格高，后期需更换分子泵等昂贵零部件。

  为更好的进行真空炉检漏，超钜微检真空炉检漏仪诞生了，检漏精度等同氦质谱检漏仪，使用的示踪气体价格是氦气的1/15~1/20，设计独特的快速吸枪式或感应式探头二种可供选择，确保不放过任何极微小泄漏点。“超钜微检”真空炉检漏仪相对于水检、氦质谱检漏而言，具有自己特有的优势，赢得广大客户的喜爱。

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