关键词：无损检漏 无损检漏设备 无损检漏仪 元器件无损检漏方案

  半导体器件的气密性是高可靠产品质量控制的基本保证。在失效器件中,泄漏往往是导致器件失效,乃至整机失效的主要原因之一。随着人们对整机寿命要求的不断提高,整机的核心—半导体器件的可靠性是非常关键的因素,尤其是在高可靠和应用环境较为恶劣(比如高温、高湿、温差变化大、海上的盐雾条件等)的仪器设备中,就必须采用气密性封装。由此出现了器件气密性检测方法,二十世纪四、五十年代就已经有各种不同的方法广泛用于产品生产中的在线质量控制,有些方法由于安全、效率等原因后来被淘汰了。常用的器件检漏方法有氦质谱法、碳一氟化合物气泡法、卤素法、放射性同位素法、染料浸透法。

  用于器件气密性检测的方法、标准、仪器设备已经比较成熟,它们各自的发展趋势也多有展望,值得注意的问题是,在对高可靠性器件进行气密性检测实践中,如何安全、可靠且准确无误地对其气密性进行检测?采取什么方法才能避免或尽可能地减小对器件泄漏与否以及漏率大小的误判,是产品在线质量控制中非常重要的问题。

  对于器件的无损(即对被测试器件不构成任何损伤或潜在的损害)检漏,以氦质谱法和气泡法(以碳氟化合物为佳)应用的最为广泛,也是最稳定和安全,检测人员也寻找到有许多很好的提高检测效率的方法。

  为了分别出器件的泄漏是可容许的微漏,还是器件不允许有的大漏,同时也是为了漏率判据附近的微漏孔不被堵塞,回避误判的正确方法程序应是:先细检漏,后粗检漏,一旦经粗检漏后的器件,在未经过恢复漏孔处理时,不允许再作细检漏,否则失去细检漏的作用。

  近年来，一种全新氮氢检漏法逐渐在各个行业得到了广泛的应用。一种由杭州超钜科技研发的ATH-3000氢气检漏仪是一种新型无损检漏仪，全新氢气检漏法具有高精度、低成本、无损、检测效率高等特点，如果您对超钜ATH-3000检漏仪感兴趣，请点击我们的在线客服，或致电：400-0982-558，超钜（无损检漏仪设备定制）竭诚为您服务。